贺东电子氟化钇涂层技术突破,助力半导体材料国产化进程 广特播报 2025-02-14 在半导体产业这片竞争激烈的红海中,每一个细微的技术进步都可能成为改变行业格局的关键。近年来,先进制程刻蚀机反应腔体内衬氟化钇涂层的开发与应用,正成为提升芯片生产效率与质量的关键所在。上海贺东电子材料有...